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发布日期:2022-05-08 04:38    点击次数:168

深紫外準連續固體激光光源應用場景廣泛,在材料名义檢測(半導體晶圓症结檢測等)、激光誘導擊穿光譜(LIBS)、激光誘導熒光(LIF)、紫外拉曼光譜儀、激光精細微加工(激光直寫、激光誘導等離子體加工、光學布拉格光柵刻寫)等方面具有獨特的技術優勢。這些應用對光源的条目具有相同性:波長短、光譜線寬窄、功率高、重復頻率好、穩定性高及可靠性高档。

伴隨國內對266nm及以下波段高端深紫外光源需求量的日益加多,具有壟斷地位的國外進口光源存在采購風險,且很難保證產品的售后時效性,國內相關產業进军需要高端深紫外光源實現國產化替代。在此配景下,北京科益虹源光電技術有限公司(下文簡稱科益虹源)诈欺現有的光、機、電、控、測等完備研發體系積極開展科研攻關,突破多項關鍵中枢技術難點,变成高穩定性、高可靠性的高端深紫外光源產品,該系列產品具有透顶自主知識產權,可實現高端深紫外光源國產化替代。

科益虹源現已推出多款深紫外波段的貨架產品,主要聚拢在213nm波段及266nm波段,現已開發4款熟练機型,脈沖寬度<10ps,光譜線寬小于15pm,重復頻率1MHz/70MHz為主,技術參數對標進口產品的高端深紫外光源。其中,266nm波段的高重頻大功率皮秒級固體激光光源已得手推向市場,在半導體檢測行業與激光精細微加工行業变成了商業訂單。现在公司產品266nm及以下深紫外波段主要貨

架產品技術指標參見下表:

266nm及以下波段深紫外產品主要產品技術指標

激光器圖片與相關實測數據

由于深紫外激光單光子能量較高,非線性晶體容易損傷,保證長期可靠性是一個挑戰。科益虹源自主研發,通過獨特設計自主知識產權的功率穩定性截至算法、全自動移點、高光束質量設計、吹掃過濾保護設計等來保證產品長期可靠性、穩定性,滿足工業用戶對長期可靠性的實際需求,已達到宇宙先進水平:單點壽命可實現連續超1000小時服务,1000小時平均功率RMS<0.5%,光束質量M2小于1.2,已趕超同類進口產品水平。

同時,科益虹源積極開展同類型更高重頻120MHz深紫外大功率工業級固體激光光源開發,并針對更多類型工業用戶實際需求,開展了脈寬2-7ns可調諧、頻率1Hz-1MHz可調諧的266nm大功率固體激光器的研發。现在,以上機型已完成决策驗證及工藝定型,正在開展產品化生產,很快也會变成貨架產品投向市場,為國內工業用戶高端深紫外光源提供更多選擇。

除以上重點介紹的266nm及以下波段深紫外準連續激光器外,科益虹源在其他波段,也研制完成多個激光器產品序列,包含532nm、355nm等多款產品均滿足工業客戶高可靠性、長時間穩定性的需求,技術指標均達到國內先進水平。作為國產高端激光器廠家,公司與客戶進行了深切溝通,了解客戶痛點, 两个男人添我下面试看十分钟普及客戶滿意度和使用體驗,提供專業定制化產品,滿足技術指標需求情況下,保證產品質量及供貨周期。

科益虹源從公司建造之初,就針對深紫外準連續固體激光光源開展研發服务,具備美满光、機、電、控、系統和集成領域研發生產團隊,是國內唯独一家能夠為客戶提供266nm及以下波段的深紫外、高重頻、大功率、工業級、固體激光光源供應商。

公司多年來深耕工業級深紫外激光器行業,是中國唯独、群众第三家光刻準分子激光技術全鏈條研發和產業化的公司,擁有國家02專項守旧、10余年技術儲備、隆起專業團隊、二百余項專利授權等多項中枢競爭力。具備專業化團隊,能夠為客戶提供實時技術守旧,保险客戶設備穩定運行,保證產品質量同時滿足客戶交貨周期条目,為客戶經濟效益保駕護航。

科益虹源汲取 服務國家戰略,實現產業價值 的职责,勉力于于打造高端光源領域的自主創新式企業,冲破國際對集成電路相關高端光源的壟斷,為國家產業發展提供產品與技術守旧,成為高端光源領域具備國際競爭力的驰名企業。

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